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国自然基金委:国家自然科学基金专项项目“芯片制造中的表界面电化学基础”启动会在上海召开

国自然基金委:国家自然科学基金专项项目“芯片制造中的表界面电化学基础”启动会在上海召开

文章类别:基金动态      作者:LetPub      发布日期:2025-12-18

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  2025年12月12日,国家自然科学基金专项项目“芯片制造中的表界面电化学基础”启动会在上海召开。自然科学基金委化学科学部常务副主任杨俊林,复旦大学党委常委、副校长马余刚,厦门大学高端电子化学品国家产业技术工程化中心(重组)首席科学家孙世刚,复旦大学智能材料与未来能源创新学院院长赵东元等参加启动会。

  该专项项目是指南引导类项目,目标是解决芯片制造中表界面电化学微纳空间限域效应、反应调控机制、微纳空间超填充机制与多场效应等科学问题,发展芯片制造表界面电化学基础理论和方法,以提高我国集成电路先进制造的自主创新能力。该专项项目群由5个项目组成,由复旦大学、上海交通大学、厦门大学和哈尔滨工业大学承担。为了进一步加强本专项项目管理和学术交流,高质量完成专项项目任务,自然科学基金委化学科学部成立专项项目学术指导专家组,并组织召开专项项目启动会。该启动会由复旦大学承办。

  杨俊林在致辞中指出,自然科学基金委面向国家重大战略需求和国际前沿,强化基础研究前瞻性、战略性、系统性布局。化学科学部在前期双清论坛充分研讨的基础上,专门设立该专项,深入开展芯片制造中的表界面电化学基础研究,期待为研发具有国际竞争力和自主知识产权的芯片技术提供科学支撑。

  马余刚在致辞中表示,复旦大学拥有集成芯片与系统全国重点实验室、国家集成电路创新中心等国家级平台,为该领域青年人才的培养提供了有利保障,后续将进一步支持专项项目的开展。

  启动会上,上述5个项目依次作了汇报,内容覆盖人工智能驱动配方设计、限域电结晶工程、原位表征技术等前沿方向。学术指导专家组与项目组进行了深入的学术交流,针对报告内容和研究方案提出了项目实施过程中应关注的意见及建议。

  项目主要参与人员、学术指导专家组以及自然科学基金委化学科学部相关工作人员参加会议。



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